Yarı İletken Endüstrisinde Eş Odaklı Mikroskopların Uygulamaları
Büyük-ölçekli yarı iletken üretimi sürecinde, entegre devre çiplerinin levha üzerine yerleştirilmesi, ardından bunların çeşitli birimlere bölünmesi ve son olarak paketlenip lehimlenmesi gerekir. Bu nedenle, levha kesme oluğu boyutunun hassas kontrolü ve ölçümü, üretim sürecinde çok önemli bir bağlantıdır.
VT6000 serisi konfokal mikroskop, Zhongtu Instrument tarafından piyasaya sürülen ve yarı iletken üretim ve paketleme işlemlerinde yaygın olarak kullanılan mikroskobik bir inceleme ekipmanıdır. Temassız-tarama gerçekleştirebilir ve karmaşık şekillere ve dik lazer kesim oluklarına sahip yüzey özelliklerinin üç{{3} boyutlu morfolojisini yeniden oluşturabilir.
VT6000 serisi konfokal mikroskop mükemmel optik çözünürlüğe sahiptir ve levha yüzeyinde kenar kırılması, çizik gibi kusurların olup olmadığının gözlemlenmesi gibi net bir görüntüleme sistemi aracılığıyla levha yüzeyinin özelliklerini ayrıntılı olarak gözlemleyebilir. Elektrik kulesi, farklı objektif büyütme oranları arasında otomatik olarak geçiş yapabilir ve yazılım, hızlı iki- boyutlu boyut ölçümü için özellik kenarlarını otomatik olarak yakalar, böylece levha yüzeyini daha etkili bir şekilde algılar ve kaliteyi kontrol eder.
Plakaların lazerle kesilmesi sürecinde, olukların plaka üzerinde doğru kontur boyunca kesilebilmesini sağlamak için hassas konumlandırma gereklidir. Gofret segmentasyonunun kalitesi genellikle kesme oluklarının derinliği ve genişliği ile ölçülür. Eş odaklı teknolojiye dayanan ve yüksek-hızlı tarama modülleriyle donatılmış VT6000 serisi eş odaklı mikroskop, çok alanlı ve otomatik ölçüm işlevlerine sahip profesyonel analiz yazılımına sahiptir. Test edilen levhanın lazer oluğunun üç{{5}boyutlu konturunu hızla yeniden oluşturabilir ve kesitin kanal derinliği ve genişlik bilgilerini elde etmek için çoklu profil analizi gerçekleştirebilir-.
