1. Piezoelektrik seramik sensör
Piezoelektrik seramik sensörün birincil çalışma mekanizması, pozitif piezoelektrik etkidir. Harici bir kuvvet uygulandıktan sonra döngünün giriş empedansının sonsuz olduğu bir durum olmadığından, bunun yerine piezoelektrik etki kullanılır. Seramik sensörler tarafından yalnızca dinamik veya yarı statik gerilim ölçülebilir ve algılanabilir. Öncelikle hızlanma, basınç ve titreşimdeki değişiklikler dahil olmak üzere farklı fiziksel parametreleri ölçmek için kullanılır. Piezoelektrik seramik sensörler, çok sayıda algılama ve kontrol sisteminin temel parçaları olarak yaygın şekilde kullanılmaktadır.
2. Kapasitif sensör
Kapasitif sensörler, ölçülen fiziksel veya mekanik miktarları, aslında değişken parametrelere sahip kapasitörler olan kapasitans değişikliklerine dönüştürmek için algılama elemanları olarak çeşitli kapasitör türleri kullanır. Kapasitif sensörler, yer değiştirme, açı, titreşim, hız, basınç, bileşim analizi, ortam özellikleri vb. ölçümlerinde yaygın olarak kullanılır. En yaygın kullanılanları paralel plakalı kapasitörler veya silindirik kapasitörlerdir.
3. Manyetoelektrik sensör
Manyetoelektrik sensör, giriş hareket hızını bobinde indüklenen potansiyel çıkışa dönüştürmek için elektromanyetik indüksiyon ilkesini kullanır. Ölçülen nesnenin mekanik enerjisini doğrudan elektrik sinyali çıkışına dönüştürür ve çalışması için harici bir güç kaynağı gerektirmez. Tipik bir aktif sensördür. Bu sensörün büyük çıkış gücü nedeniyle, kullanılan ikincil alet devresi büyük ölçüde basitleştirilmiştir.
