Taramalı Prob Mikroskoplarının Özellikleri
Taramalı prob mikroskobu, taramalı tünelleme mikroskobu temel alınarak geliştirilen çeşitli yeni prob mikroskopları (atomik kuvvet mikroskobu, elektrostatik kuvvet mikroskobu, manyetik kuvvet mikroskobu, taramalı iyon iletkenlik mikroskobu, taramalı elektrokimyasal mikroskop vb.) için genel bir terimdir. Son yıllarda uluslararası alanda geliştirilen bir yüzey analiz aracıdır.
Taramalı prob mikroskobu, alan iyon mikroskobu ve yüksek-çözünürlüklü transmisyon elektron mikroskobundan sonra malzeme yapılarını atomik ölçekte gözlemleyen üçüncü mikroskop türüdür. Taramalı tünelleme mikroskobunu (STM) örnek olarak alırsak, yanal çözünürlüğü 0,1~0,2nm ve boylamsal derinlik çözünürlüğü 0,01nm'dir. Böyle bir çözünürlük, numunenin yüzeyinde dağılmış bireysel atomları veya molekülleri açıkça gözlemleyebilir. Bu arada taramalı prob mikroskopları hava, diğer gazlar veya sıvı ortamlarda gözlem ve araştırma için de kullanılabilir.
Taramalı prob mikroskopları atomik çözünürlük, atomik taşınma ve nano mikrofabrikasyon gibi özelliklere sahiptir. Ancak çeşitli taramalı mikroskopların farklı çalışma prensipleri nedeniyle, sonuçlarının yansıttığı numunenin yüzey bilgisi çok farklıdır. Taramalı tünelleme mikroskobu, numunenin yüzeyindeki elektron dağılım bilgisini atomik düzeyde çözünürlükle ölçer ancak yine de numunenin gerçek yapısını elde edemez. Atomik mikroskopi, atomlar arasındaki etkileşim bilgisini tespit ederek, numunenin gerçek yapısı olan numunenin yüzeyindeki atomik dağılımın düzenleme bilgisini elde eder. Öte yandan atomik kuvvet mikroskobu, teoriyle karşılaştırılabilecek elektronik durum bilgisini ölçemediğinden her ikisinin de kendi güçlü ve zayıf yönleri vardır.
