Taramalı Elektron Mikroskobunun Avantajları
1. Büyütme
Taramalı elektron mikroskobunun flüoresan ekranının boyutu sabit olduğundan, büyütme değişimi numune yüzeyindeki elektron demetinin tarama genliği değiştirilerek gerçekleştirilir.
Tarama bobininin akımı azaltılırsa, numune üzerindeki elektron demetinin tarama mesafesi küçülür ve büyütme artar. Ayarlama çok uygundur ve sürekli olarak 20 defadan yaklaşık 200,000 defaya kadar ayarlanabilir.
2. Çözünürlük
Çözünürlük, SEM'in ana performans indeksidir.
Çözünürlük, gelen elektron ışınının çapına ve modülasyon sinyalinin türüne göre belirlenir:
Elektron ışını çapı ne kadar küçük olursa, çözünürlük o kadar yüksek olur.
Görüntüleme için kullanılan farklı fiziksel sinyallerin farklı çözünürlükleri vardır.
Örneğin, SE ve BE elektronları, numune yüzeyinde farklı emisyon aralıklarına sahiptir ve çözünürlükleri farklıdır. Genel olarak, SE'nin çözünürlüğü yaklaşık 5-10 nm'dir ve BE'nin çözünürlüğü yaklaşık 50-200 nm'dir.
3. Alan Derinliği
Bir merceğin aynı anda odaklanabileceği ve bir numunenin çeşitli kısımlarını düzgünsüzlükle görüntüleyebileceği bir dizi yetenek anlamına gelir.
Taramalı elektron mikroskobunun son merceği, küçük bir açıklık açısı ve uzun bir odak uzaklığı benimser, böylece genel bir optik mikroskobunkinden 100-500 kat ve diğerinden 10 kat daha büyük olan geniş bir alan derinliği elde edilebilir. bir transmisyon elektron mikroskobununki.
Geniş alan derinliği, güçlü üç boyutlu algı ve gerçekçi şekil, SEM'in öne çıkan özellikleridir.
SEM için numuneler iki kategoriye ayrılır:
1, iyi iletkenliğe sahip, genellikle orijinal şeklini koruyabilen ve bir elektron mikroskobunda çok az temizlik yapılmadan veya temizlenerek gözlemlenebilen bir numunedir;
2. İletken olmayan numuneler veya vakumda su, gaz çıkışı, büzülme ve deforme olan numunelerin gözlemlenebilmesi için önce uygun şekilde işlenmesi gerekir.
