Elektron mikroskobunun birkaç bölümü vardır
Elektron mikroskobu üç bölümden oluşur: mercek çerçevesi, vakum cihazı ve güç kaynağı kabini.
1. Mercek namlusu esas olarak elektron kaynaklarını, elektron merceklerini, numune tutucuları, flüoresan ekranları ve dedektörleri içerir. Bu bileşenler genellikle yukarıdan aşağıya bir silindire monte edilir.
Elektron merceği elektronları odaklamak için kullanılır ve elektron mikroskobu haznesindeki en önemli bileşendir. Genelde manyetik lensler kullanılırken bazen elektrostatik lensler de kullanılmaktadır.
2. Vakum cihazı, mikroskopta vakum durumunu sağlamak için kullanılır, böylece elektronlar yolunda emilmez veya saptırılmaz. Mekanik bir vakum pompası, bir difüzyon pompası ve bir vakum valfinden oluşur ve bir egzoz borusu aracılığıyla mercek çerçevesine bağlanır.
3. Güç kabini, bir yüksek voltaj jeneratörü, bir uyarma akımı dengeleyici ve çeşitli ayar kontrol ünitelerinden oluşur.
