Konfokal mikroskobun her bir parçasının adı ve işlevi
Konfokal teknoloji prensibine dayanan konfokal mikroskop, çeşitli hassas cihazların ve malzemelerin yüzeyini mikro ve nano düzeyde ölçmek için kullanılır ve malzeme numunelerinin yüzey morfolojisini 1 nm'ye kadar yanal çözünürlükle doğrudan görüntüleyebilir. ve 0,5 nm'ye kadar Z ekseni çözünürlüğü. Sadece numunenin yüzey morfolojisini ölçmek ve profil boyutu ölçümünün mikroskobik morfolojisini karakterize etme işlevini sağlamakla kalmaz, aynı zamanda pürüzlülük analizi, geometrik profil analizi, yapısal analiz, frekans analizi ve fonksiyonel gibi beş ana analitik fonksiyon da sağlar. analiz. Pürüzlülük analizi, geometrik profil analizi, yapısal analiz, frekans analizi ve fonksiyonel analiz de sağlanmaktadır.
Pürüzlülük analizi, ISO4287 çizgi pürüzlülüğü, ISO25178 yüzey pürüzlülüğü, ISO12781 düzlüğü vb.'ye göre tam parametre analizini içerir; geometrik kontur analizi adım yüksekliği, mesafe, açı, eğrilik ve diğer özellik ölçümlerini ve doğrusallık, yuvarlaklık ve form toleransı değerlendirmesini içerir; yapısal analiz deliklerin hacmini ve oluğun derinliğini vb. içerir; frekans analizi, tanenin yönünü ve spektrum analizini içerir; fonksiyonel analiz, yön ve frekans spektrumu analizini içerir; frekans analizi, yön ve frekans spektrumu analizini içerir; ve fonksiyonel analiz de mevcuttur. Frekans analizi doku yönü ve spektrum analizini içerir; Fonksiyonel analiz SK parametrelerini ve hacim parametrelerini içerir.
Konfokal mikroskobun yapısı esas olarak aşağıdakilerden oluşur: mikroskop, lazer ışık kaynağı, tarama cihazı, dedektör, bilgisayar sistemi (veri toplama, işleme, dönüştürme, uygulama yazılımı dahil), görüntü çıkış cihazı, optik cihaz ve konfokal sistem.
Seramik, metal, yarı iletken, çip ve diğer malzeme bilimi ve üretim denetimi alanında eş odaklı mikroskop geniş bir uygulama alanına sahiptir. Konfokal mikroskopi prensibine dayanan konfokal mikroskop, cihaz yüzeyinin temassız taranması ve yüzey 3D görüntüsünün oluşturulması, cihaz yüzeyindeki sistem yazılımı aracılığıyla 3D görüntü veri işleme ve analizi, böylece 2D, 3D elde edilir. Cihaz yüzey morfolojisi 3D ölçümünü elde etmek için cihazın yüzeyinin kalitesini yansıtan parametreler.
Yarı iletken üretim ve paketleme prosesi denetimi, 3C elektronik cam ekran ve hassas parçaları, optik işleme, mikro nano malzeme imalatı, otomotiv parçaları, MEMS cihazları ve diğer ultra hassas işleme endüstrisi ve havacılık, bilimsel araştırma enstitüleri ve diğer alanlar. Çeşitli ürünlerin, bileşenlerin ve malzeme yüzeylerinin yüzey profilini, yüzey kusurlarını, aşınma ve yıpranmayı, korozyonu, düzlüğü, pürüzlülüğü, olukluluğu, gözenek açıklığını, adım yüksekliğini, bükülme deformasyonunu, işlenmesini ve diğer yüzey özelliklerini ölçün ve analiz edin.
