Konfokal mikroskop kaç nanometre görebilir?
Malzeme biliminin amacı, bir malzemenin yüzey yapısının yüzey özellikleri üzerindeki etkisini incelemektir. Bu nedenle yüzey topoğrafyasının yüksek çözünürlükte analiz edilmesi, yüzey pürüzlülüğü, yansıtıcı özellikler, tribolojik özellikler ve yüzey kalitesi ile ilgili parametrelerin belirlenmesi açısından önemlidir. Konfokal teknikler, çeşitli yüzey yansıtma özelliklerine sahip malzemeleri ölçebilme ve etkili ölçüm verileri elde edebilme yeteneğine sahiptir.
Eş odaklı teknoloji prensibine dayanan lazer eş odaklı mikroskop, çeşitli hassas cihaz ve malzemelerin yüzeylerinde mikro ve nano ölçekli ölçümler için bir denetim aracıdır. Yüksek ölçüm çözünürlüğü 0.5 nm'ye ulaşır.
Uygulamalar
1. MEMS
Mikron ve mikron altı bileşenlerin boyutsal ölçümü, çeşitli işlemler (geliştirme, dağlama, metalizasyon, CVD, PVD, CMP, vb.) sonrasında yüzey morfolojisinin gözlemlenmesi, kusur analizi.
2. Hassas mekanik bileşenler, elektronik cihazlar
Mikron ve mikron altı bileşenlerin boyutsal ölçümü, çeşitli yüzey işleme işlemleri sonrasında yüzey morfolojisinin gözlemlenmesi, lehimleme işlemleri, hata analizi, parçacık analizi.
3.Yarıiletken/LCD
Çeşitli işlemlerden (geliştirme, dağlama, metalizasyon, CVD, PVD, CMP, vb.) sonra yüzey topografyasının gözlemlenmesi, kusur analizi Temassız çizgi genişliklerinin, adım derinliklerinin vb. ölçümü.
4. Triboloji, korozyon ve diğer yüzey mühendisliği
Aşınma izlerinin hacim ölçümü, pürüzlülük ölçümü, yüzey topografyası, korozyon ve mikron altı yüzey mühendisliği sonrasında yüzey topografisi.
Teknik özellik
Modeli: VT6100
İnme aralığı: 100*100*100mm
Görüş alanı aralığı: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Yükseklik ölçümü tekrarlanabilirliği (1σ): 12nm
Yükseklik ölçüm doğruluğu: ± (0.2+L/100) μm
Yükseklik ölçümü çözünürlüğü: 0,5 nm
Genişlik ölçümü tekrarlanabilirliği (1σ): 40nm
Genişlik Ölçüm Doğruluğu: ± %2
Genişlik ölçüm çözünürlüğü: 1nm
