Elektronik Endüstrisinde Mikro Cihazlarda Kızılötesi Mikroskop Uygulaması
1. Uygulama yönü: küçük yarı iletken cihazların sıcaklık testinde kızılötesi mikroskobun rolü
2. Arka plan tanıtımı:
Nanoteknolojinin gelişmesiyle birlikte, yukarıdan aşağıya minyatürleştirme yöntemi, yarı iletken teknolojisi alanında giderek daha fazla uygulanmaktadır. Transistörlerin boyutları mikron (10-6 metre) seviyesinde olduğu için IC teknolojisine "mikroelektronik" teknolojisi derdik. Ancak yarı iletken teknolojisi çok hızlı gelişiyor. Her iki yılda bir, bir nesil geliştirilecek ve boyut, orijinal boyutun yarısına düşürülecek. Bu ünlü Moore Yasasıdır. Yaklaşık 15 yıl önce yarı iletkenler, mikron çağından daha küçük olan mikron altı çağa girmeye başladı ve ardından mikron çağından çok daha küçük olan mikron altı çağın derinliklerine indi. 2001'de, transistörler 0,1 mikrondan veya 100 nanometreden bile küçüktü. Bu nedenle, nanoelektronik çağıdır ve gelecekteki IC'lerin çoğu nanoteknolojiden yapılacaktır.
3. Teknik gereksinimler:
Şu anda, elektronik cihazların ana arıza modu termal arızadır. İstatistiklere göre elektronik cihazların arızalarının yüzde 55'i sıcaklığın belirtilen değeri aşmasından kaynaklanıyor. Sıcaklık arttıkça elektronik cihazların arıza oranı katlanarak artar. Genel olarak konuşursak, elektronik bileşenlerin çalışma güvenilirliği sıcaklığa karşı son derece hassastır ve cihazın sıcaklığı 70-80 derece düzeyinde her 1 derece arttığında güvenilirlik yüzde 5 düşecektir. Bu nedenle cihazın sıcaklığının hızlı ve güvenilir bir şekilde tespit edilmesi gerekmektedir. Yarı iletken cihazların boyutu küçüldükçe, algılama ekipmanının sıcaklık çözünürlüğü ve uzamsal çözünürlüğü için daha yüksek gereksinimler ortaya çıkar.
4. Yerinde çekim ısı haritası
