Taramalı elektron mikroskobu performans özelliklerine giriş
Çeşitli taramalı elektron mikroskobu türleri vardır ve farklı taramalı elektron mikroskobu türlerinin farklı performansları vardır. Elektron tabancası tipine göre üç tipe ayrılabilir: alan emisyonlu elektron tabancası, tungsten tel tabancası ve lantan hekzaborür [5]. Bunlar arasında alan emisyon taramalı elektron mikroskobu, ışık kaynağının performansına göre soğuk alan emisyon taramalı elektron mikroskobu ve termal alan emisyon taramalı elektron mikroskobu olarak ikiye ayrılabilir. Soğuk alan emisyonlu taramalı elektron mikroskobu, yüksek vakum koşulları gerektirir, ışın akımı kararsızdır, yayıcının kullanım ömrü kısadır ve iğne ucunun düzenli olarak temizlenmesi gerekir, bu da tek bir görüntü gözlemiyle sınırlıdır ve uygulama aralığı sınırlı; termal alan emisyon taramalı elektron mikroskobu ise sadece sürekli değil, uzun süre çalışabilir ve ayrıca kapsamlı analiz elde etmek için çeşitli aksesuarlarla birleştirilebilir. Jeoloji alanında, sadece numunenin ön morfolojisini gözlemlememiz gerekmiyor, aynı zamanda numunenin diğer özelliklerini de analizörle birlikte analiz etmemiz gerekiyor, bu nedenle termal alan emisyon taramalı elektron mikroskobu daha yaygın olarak kullanılıyor.
Taramalı elektron mikroskobu (SEM), yüksek çözünürlüklü mikro alan morfolojisi analizi için büyük bir hassasiyet aracıdır. Geniş alan derinliği, yüksek çözünürlük, sezgisel görüntüleme, güçlü stereoskopik etki, geniş büyütme aralığı özelliklerine sahiptir ve test edilecek numune üç boyutlu uzayda döndürülebilir ve eğilebilir. Ek olarak, çok çeşitli ölçülebilir numuneler, orijinal numunede neredeyse hiç hasar veya kontaminasyon olmaması ve morfoloji, yapı, bileşim ve kristalografik bilgilerin eş zamanlı olarak alınması gibi avantajlara sahiptir. Şu anda, taramalı elektron mikroskobu yaşam bilimi, fizik, kimya, adalet, yer bilimi, malzeme bilimi ve endüstriyel üretim alanlarındaki mikroskobik araştırmalarda yaygın olarak kullanılmaktadır. , Sedimantoloji, Jeokimya, Gemoloji, Mikropaleontoloji, Astrojeoloji, Petrol ve Gaz Jeolojisi, Mühendislik Jeolojisi ve Yapısal Jeoloji, vb.
Taramalı elektron mikroskobu, mikroskop ailesinin yükselen yıldızı olmasına rağmen sahip olduğu birçok avantaj nedeniyle geliştirme hızı oldukça yüksektir.
1. Aletin çözünürlüğü nispeten yüksektir ve numunenin yüzeyindeki yaklaşık 6 nm'lik ayrıntılar, bir LaB6 elektron tabancası kullanılarak 3 nm'ye daha da geliştirilebilen ikincil elektron görüntüsü aracılığıyla gözlemlenebilir.
2 Aletin büyütmesi geniş bir aralığa sahiptir ve sürekli olarak ayarlanabilir. Dolayısıyla ihtiyaca göre farklı görüş alanları gözlem için seçilebilir ve aynı zamanda genel transmisyon elektron mikroskopları ile elde edilmesi zor olan yüksek parlaklıkta net görüntüler de yüksek büyütme altında elde edilebilir.
3 Örneği gözlemlemek, geniş bir alan derinliğine, geniş bir görüş alanına sahiptir ve görüntü üç boyutlulukla doludur. Büyük dalgalanmalara sahip pürüzlü yüzeyi ve numunenin pürüzlü metal kırılma görüntüsünü doğrudan gözlemleyebilir, bu da insanları mikroskobik dünyadaymış gibi hissettirir.
4. Numune hazırlama basittir. Blok veya toz numune hafifçe işlendiği veya işlenmediği sürece, gözlem için doğrudan taramalı elektron mikroskobuna yerleştirilebilir, bu nedenle malzemenin doğal durumuna daha yakındır.
5 Parlaklık ve kontrastın otomatik bakımı, örnek eğim açısı düzeltmesi, görüntü döndürme gibi elektronik yöntemlerle görüntü kalitesini etkili bir şekilde kontrol edebilir ve iyileştirebilir veya Y modülasyonu yoluyla görüntü kontrastının toleransını ve çeşitli parçaların parlaklığını ve karanlığını geliştirebilir. resmin Orta. Bir çift büyütme cihazı veya bir görüntü seçici kullanılarak, floresan ekranda aynı anda farklı büyütme oranlarına sahip görüntüler gözlemlenebilir.
Kapsamlı analiz için 6. Dalgaboyu dağılımlı bir X-ışını spektrometresi (WDX) veya bir enerji dağılımlı X-ışını spektrometresi (EDX) kurun, böylece bir elektron probu işlevi görür ve ayrıca yansıyan elektronları, X-ışınlarını, katodofloresan, iletilen elektronları, Auger elektroniklerini saptayabilir. vb. Taramalı elektron mikroskobu uygulamasının çeşitli mikroskobik ve mikro alan analiz yöntemlerine genişletilmesi, taramalı elektron mikroskobunun çok yönlülüğünü gösterir. Ayrıca topoğrafya görüntüsünü gözlemlerken numunenin isteğe bağlı mikro bölgesini de analiz edebilir; yarı iletken örnek tutucu aksesuarını takın ve elektromotor kuvveti görüntü amplifikatörü aracılığıyla transistördeki veya entegre devredeki PN bağlantısını ve mikroskobik kusurları doğrudan gözlemleyin. Birçok taramalı elektron mikroskobu elektronik probları, elektronik bilgisayar otomatik ve yarı otomatik kontrolü gerçekleştirdiğinden, kantitatif analizin hızı büyük ölçüde geliştirilmiştir.
