Elektron mikroskobunun bir dizi parçası
Elektron kaynağı: Serbest elektronları serbest bırakan bir katottur ve halka şeklindeki bir anot elektronları hızlandırır. Katot ve anot arasındaki voltaj farkı çok yüksek, tipik olarak birkaç bin volt ile üç milyon volt arasında olmalıdır.
Elektronlar: Elektronları odaklamak için kullanılır. Genelde manyetik lensler kullanılırken bazen elektrostatik lensler de kullanılmaktadır. Elektron merceğin işlevi, optik mikroskoptaki optik merceğin işlevi ile aynıdır. Optik merceğin odak noktası sabittir, ancak elektronik merceğin odağı ayarlanabilir, bu nedenle elektron mikroskobu, optik mikroskop gibi hareketli bir mercek sistemine sahip değildir.
Vakum cihazı: Vakum cihazı, elektronların emilmemeleri veya yollarında sapmamaları için mikroskop içindeki vakum durumunu sağlamak için kullanılır.
Numune tutucu: Numuneler, numune tutucuya sabit bir şekilde yerleştirilebilir. Ek olarak, genellikle numuneyi değiştirmek için kullanılabilecek cihazlar (hareket ettirme, döndürme, ısıtma, soğutma, uzatma vb.)
Dedektör: Elektronları toplamak için kullanılan bir sinyal veya ikincil sinyal. Bir numunenin izdüşümü, bir transmisyon elektron mikroskobu (Transmission Electron Microscopy TEM) kullanılarak doğrudan elde edilebilir. Elektronlar bu mikroskopta numuneden geçer, bu nedenle numunenin çok ince olması gerekir. Numuneyi oluşturan atomların atom ağırlığı, elektronların hızlandığı voltaj ve istenen çözünürlük numunenin kalınlığını belirler. Numunenin kalınlığı birkaç nanometreden birkaç mikrometreye kadar değişebilir. Atom kütlesi ne kadar yüksek ve voltaj ne kadar düşükse, numune o kadar ince olmalıdır.
Objektifin lens sistemini değiştirerek, objektifin odak noktasındaki görüntüyü doğrudan büyütebilirsiniz. Bundan elektron kırınım görüntüleri elde edilebilir. Bu görüntü kullanılarak numunenin kristal yapısı analiz edilebilir.
Enerji Filtreli Transmisyon Elektron Mikroskobunda (EFTEM), insanlar elektronların bir numuneden geçerken hızlarındaki değişiklikleri ölçer. Bundan, numunedeki kimyasal elementlerin dağılımı gibi numunenin kimyasal bileşimi çıkarılabilir.
